半导体技术开发商BluGlass (ASX: BLG)委托了一个商业规模的远程等离子体化学气相沉积(RPCVD)制造平台,这是迄今为止其最大的RPCVD。
该公司现在已经委托BLG-500改装成现代一代制造平台,即AIXTRON 2800 G4。
该芯片是与全球半导体领军企业爱思强公司合作完成的,目前的容量是之前RPCVD平台BLG-300的几倍。
新的行星沉积平台可以沉积6×6英寸或42×2”的晶片。
RPCVD技术
据BluGlass介绍,该公司发明了一种利用RPCVD生产氮化镓和氮化镓等先进材料的新工艺,这些材料在照明、显示器、虚拟现实系统以及工业切割和焊接等下一代设备中至关重要。
相对于现有的生长技术,RPCVD平台的低温和低氢增长率为电子制造商提供了好处。
BluGlass声称,这些优势包括更高的效率、更低的成本、更大的基材灵活性以及促进新应用的潜力。
商业的里程碑
“BLG-500是经过两年的设计和建造,将我们独特的研发规模技术转变为具有商用制造能力的巅峰之作,”BluGlass董事总经理贾尔斯•伯恩解释说。
“这一步对公司未来的成功至关重要。”
“BLG-500不是我们RPCVD平台的下一代增量,相反,它是一个彻底的重新设计的设计,以提供超精确的均匀性和商业规模的沉积质量。”
他补充说,BLG-500的试运行是该公司实现其低温增长平台商业化的一个“重大技术示范里程碑”。
预计新平台将“显著提高”该公司现有工厂的铸造客户产量。
在BLG-500致力于激光二极管和LED产品开发之前,BluGlass将继续进行性能测试和优化。